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充氮隧道爐通過充入氮?dú)饨档蜖t內(nèi)氧氣濃度,防止產(chǎn)品氧化,同時(shí)采用隧道式連續(xù)生產(chǎn)方式提高效率。其工作原理如下:
核心原理
充氮隧道爐內(nèi)部設(shè)置氮?dú)獬涮钕到y(tǒng),通過管道向爐內(nèi)持續(xù)充入氮?dú)?,將氧氣濃度控制在設(shè)定范圍(如電子芯片制造需0-10ppm,鋰電池生產(chǎn)需0-100ppm),從而避免產(chǎn)品在高溫處理時(shí)發(fā)生氧化反應(yīng)。 ?
結(jié)構(gòu)與功能
?密封爐體?:采用全密封設(shè)計(jì),配合氮?dú)庋h(huán)系統(tǒng)維持無氧環(huán)境。
?加熱系統(tǒng)?:常見電加熱或燃?xì)饧訜岱绞?,通過熱風(fēng)循環(huán)確保溫度均勻分布。 ?
?輸送系統(tǒng)?:輸送帶、鏈板等結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品連續(xù)輸送,縮短生產(chǎn)周期。 ?
適用場景
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、鋰電池電極燒結(jié)、新材料加工等領(lǐng)域,通過控制氧氣濃度保障產(chǎn)品性能穩(wěn)定性。 ?


